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江蘇某上市公司 山東某客戶 天津某客戶 杭州某客戶定制的新能源
江蘇某上市公司 山東某客戶 天津某客戶 杭州某客戶等定制的新能源硅晶片真空自動(dòng)噴砂機(jī)。
半導(dǎo)體行業(yè)的單晶硅晶片(圓形、方形等)在生產(chǎn)過程中需要使用噴砂機(jī)去表面的雜質(zhì),由于晶片厚度非常薄(170微米),所以噴砂的難度特別大,稍有不慎便會(huì)將晶片打碎,給業(yè)主造成損失。
所以騰博公司針對(duì)該行業(yè),研制的新型晶片噴砂機(jī),其工作原理是通過高速流動(dòng)的空氣形成的外壓,將硅晶片固定在輸送皮帶上,所以在噴砂時(shí)才能做到硅片不被吹飛,另外在直徑75~100mm的硅片表面噴砂,要做到減薄厚度一致,噴砂前后的測(cè)量結(jié)果需要噴掉5微米,而且在取樣的5個(gè)點(diǎn)之間厚度偏差不能超過1微米。
本機(jī)使用的是280目的綠碳化硅磨料,因?yàn)閲娚拔锛拇嘈苑浅8撸阅チ侠锊荒軗诫s一點(diǎn)雜質(zhì),任何大于100目的顆粒狀物體摻入磨料,通過噴嘴噴到物料上都會(huì)將物料打碎,所以我們采用完全過濾的方法,將過濾倉和儲(chǔ)料倉通過篩網(wǎng)做到完全隔離,保證噴砂機(jī)出來的磨料都是合格的,機(jī)器使用1天需要清理一次過濾篩網(wǎng),保證磨料能通暢的進(jìn)入儲(chǔ)料倉。
回收砂材使用風(fēng)力回收,做到不存砂,回收徹底,回收管道在轉(zhuǎn)彎處都做成可拆卸結(jié)構(gòu),便于將來被磨料擊穿后更換,機(jī)器內(nèi)部有耐磨橡膠板做防護(hù),放置噴砂機(jī)從內(nèi)部損壞。
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